半導体製造設備　グラスライニング反応槽のメカニカルシールを分解整備致しました。

反応槽及びグラスライニング部に衝撃を与えてしまうと容易に破損してしまう為、非常に取り扱いが難しく、高い技術を必要とする機器です。

今回は、メカニカルシール回転環から内圧が漏れてしまうため、メカニカルシールの交換工事を行いました。メカシール軸受け部が固着しており、100ｔの油圧ジャッキを使用して引き抜きを行いました。結果、内部に不純物の固着があり、間隙が無くなっており、齧りが発生しておりました。分解後、点検手入れを行い、確認後、メカニカルシール及び軸受けの組込みを行いました。